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工程案例

    工程案例 >>超纯水系统-芯片用水
处理规模:15m3/h
处理流程:多介质-活性炭-两级反渗透-氮封水箱-185nmUV-膜脱气-EDI-抛光混床-氮封水箱-185nmUV-膜脱
                 气-二级抛光混床-0.2μ微滤-终端超滤-用水回路
产水品质:符合ASTM D5127 E1.2要求
产品用途:芯片生产用水
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